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    當(dāng)前位置：材料測(cè)試 ?  材料加工 ? 

    冷凍聚焦離子束（FIB）

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    冷凍聚焦離子束（FIB）

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    如有各類設(shè)備采購(gòu)需求，請(qǐng)聯(lián)系專屬顧問(wèn)。

    王飛

    FIB測(cè)試工程師

    擁有8年掃描電鏡測(cè)試經(jīng)驗(yàn)。擅長(zhǎng)聚焦離子束（FIB）技術(shù)，精于利用FIB進(jìn)行高精度材料切割、表面刻蝕及納米級(jí)樣品制備。

    項(xiàng)目介紹

    聚焦離子束（focused ion beam, FIB）技術(shù)是在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用下，將離子束聚焦到亞微米甚至納米量級(jí)，通過(guò)偏轉(zhuǎn)和加速系統(tǒng)控制離子束掃描運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)微納圖形的監(jiān)測(cè)分析和微納結(jié)構(gòu)的無(wú)掩模加工。

    可提供的服務(wù)：

    1. TEM透射樣品制備：針對(duì)表面薄膜、涂層、粉末大顆粒、塊體等樣品，在指定位置準(zhǔn)確定位切割制備TEM樣品；

    2. SEM/EDS剖面分析：FIB準(zhǔn)確定位切割，制備截面樣品，進(jìn)行SEM和EDS能譜分析；

    3. 微納結(jié)構(gòu)加工：在微納結(jié)構(gòu)操作機(jī)械手、Omniprobe操作探針、離子束切割等的配合下，進(jìn)行各種微納結(jié)構(gòu)的搬運(yùn)，以及各種顯微結(jié)構(gòu)形狀或圖案的加工。

    樣品要求

    1.具體要求請(qǐng)咨詢技術(shù)顧問(wèn)。

    項(xiàng)目案例

    TEM制備多相和薄膜的TEM樣品

    電池正極材料的FIB截面的SEM及能譜表征

    FIB加工測(cè)試狗logo

    FIB三維重構(gòu)圖像

    常見(jiàn)問(wèn)題
    1、FIB可以做什么？

    （1）FIB-SEM：FIB制備微納米級(jí)樣品截面，進(jìn)行SEM和能譜測(cè)試。感興趣區(qū)域尺度要求200nm-30μm，通常切樣面寬度不超過(guò)10μm。

    （2）FIB-TEM：FIB制備滿足透射電鏡的 TEM截面樣品。樣品包括：薄膜、塊體樣品，微米級(jí)顆粒。樣品種類：陶瓷、金屬等。

    2、FIB制樣可能引入的雜質(zhì)？

    W、C、Pt和Ga，其中W、C和Pt是為了保護(hù)減薄區(qū)域，Ga是離子源。如果樣品不導(dǎo)電可能噴Au或者噴Pt，從而引入這兩種元素。

    3、FIB樣品為什么需要導(dǎo)電？

    樣品是在SEM電鏡下進(jìn)行操作，需要清晰地觀察到樣品的形貌，否則無(wú)法精準(zhǔn)制樣。

    4、FIB-TEM的制樣流程是 ?

    (1）找到目標(biāo)位置（定位非常重要），表面噴Pt、W或C進(jìn)行保護(hù)目標(biāo)區(qū)域； 

    (2）將目標(biāo)位置前后兩側(cè)的樣品挖空，剩下目標(biāo)區(qū)域后進(jìn)行U-cut；

    (3）通過(guò)納米機(jī)械手將這個(gè)薄片取出，將樣品焊到銅網(wǎng)上的樣品柱上；

    (4）減薄到理想厚度后停止。

    冷凍聚焦離子束（FIB）

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    7天無(wú)理由
    7天無(wú)理由免費(fèi)復(fù)測(cè)
    1. 復(fù)測(cè)保證

    如果在訂單完成之后7天內(nèi)對(duì)結(jié)果存疑,可申請(qǐng)同條件免費(fèi)復(fù)測(cè)，更換條件或者參數(shù)不能參與免費(fèi)復(fù)測(cè)保障服務(wù)，全程由專業(yè)團(tuán)隊(duì)操作，確保結(jié)果有效性；

    2. 具體細(xì)則

    每單限1次復(fù)測(cè)機(jī)會(huì)，單次需小于5個(gè)樣品; 此外免費(fèi)復(fù)測(cè)樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測(cè)試不可享受此服務(wù)；

    3. 注意事項(xiàng)

    如果由于您自身樣品的情況(樣品有問(wèn)題/選錯(cuò)測(cè)試條件等)將不可享受此服務(wù)；

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