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    離子束刻蝕機（IBE）

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    離子束刻蝕機（IBE）

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    如有各類設(shè)備采購需求，請聯(lián)系專屬顧問。
    項目介紹

    通過離子束直接對材料進行轟擊刻蝕，或通過刻蝕將曝光形成的光刻膠圖形轉(zhuǎn)移至金屬、介質(zhì)、半導(dǎo)體晶圓

    樣品要求

    1、適用于的樣品尺寸：最大適合晶圓尺寸8英寸

    2、離子源為考夫曼離子源

    3、極限真空：≤9.0×10-5 Pa

    4、刻蝕不均勻性: ≤±5%干燥固體樣品，樣品表面干凈，無油污

    項目案例

    離子束刻蝕機（IBE）

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    如果在訂單完成之后7天內(nèi)對結(jié)果存疑,可申請同條件免費復(fù)測，更換條件或者參數(shù)不能參與免費復(fù)測保障服務(wù)，全程由專業(yè)團隊操作，確保結(jié)果有效性；

    2. 具體細(xì)則

    每單限1次復(fù)測機會，單次需小于5個樣品; 此外免費復(fù)測樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測試不可享受此服務(wù)；

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    如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯測試條件等)將不可享受此服務(wù)；

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