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測試狗透射電鏡校準和測試能力獲國家計量比對認可
來源: 時間:2025-11-17 14:23:33 瀏覽:2428次

測試狗透射電鏡校準和測試能力獲國家計量比對認可


為更好地發揮計量比對在保證量值準確可靠、支撐計量事中事后監管和提升計量技術機構能力等方面的重要作用,市場監管總局組織實施了防護水平X射線空氣比釋動能量值比對等26項國家計量比對。

項目編號:2021-B-16

主導實驗室:中國計量科學研究院

比對項目:透射電鏡測量二氧化鉿(HfO2)和氮化硅(Si3N4)薄膜厚度。

主導實驗室依據 T/CSTM00162—2020《透射電子顯微鏡校準方法》和 GB/Z 21738—2008《一維納米材料的基本結構高分辨透射電子顯微鏡檢測方法》標準,制定了比對方案,準備了 HfO2 Si3N4 薄膜比對樣品及GBW13955 金晶面間距標準物質。參比實驗室依據 T/CSTM 00162—2020《透射電子顯微鏡校準方法》標準對透射電鏡進行校準,使用校準后的透射電鏡,依據GB/Z21738—2008《一維納米材料的基本結構高分辨透射電子顯微鏡檢測方法》標準,對兩個樣品的薄膜厚度進行了測量。主導實驗室對測量結果進行比較和評價,并根據En值判斷是否合格。項目簡介:透射電鏡作為材料領域最重要的測量分析儀器之一,具有測量結果可視、分辨率高、準確性好、功能多樣化等優點,尺寸測量覆蓋了埃米到微米范圍,廣泛應用于金屬合金、集成電路、納米科技、生物醫藥等領域材料樣本的表征和分析。透射電鏡測量量值的準確性影響樣品/產品性能的可靠性和安全性。因此,開展透射電鏡中、高放大倍率下膜厚量值的計量比對具有重要意義。本比對采用標準物質/標準樣品校準透射電鏡,然后使用校準后的透射電鏡測量 HfO2薄膜樣品和Si3N4薄膜樣品的薄膜厚度。此次透射電鏡計量比對與主導實驗室主導的APMP/TCMM —35—透射電鏡 Si{220}晶面間距測量比對同步進行,比對方案基本相同。


比對結果符合規定要求的參比實驗室:北京理工大學、測試狗(成都)實驗檢測有限公司、廣州計量檢測技術研究院、天津大學、清華大學深圳國際研究生院、松山湖材料實驗室公共技術平臺。


參比實驗室勝科納米(蘇州)股份有限公司、內蒙古工業大學和中國科學院金屬研究所的初測比對結果偏離正常范圍,目前已整改,補測結果符合要求。

測試狗實驗室的透射電鏡

本次比對不僅檢驗了國內透射電鏡實驗室測量能力,而且可以第一時間將國際比對量值與國內比對量值鏈接,在新材料與納米計量領域做到國際國內量值等效一致。通過本次比對,驗證了國內透射電鏡測量膜厚量值的一致性,反映了參比實驗室開展透射電鏡膜厚測量的技術能力和人員水平,提升了透射電鏡校準、測量能力和水平。


原文鏈接:市場監管總局關于26項國家計量比對結果的通告

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全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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